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真空镀膜的常用方法
来源：发布时间：2020-04-15 10:00:00点击率：
真空镀膜的方法很多：
（1）真空蒸镀：将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面，凝结而成薄膜。
（2）阴极溅射镀：将需镀膜的基体放在阴极对面，把惰性气体（如氩）通入已抽空的室内，保持压强约1.33～13.3Pa，然后将阴极接上2000V的直流电源，便激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。
（3）化学气相沉积：通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物，获得沉积薄膜的过程。
（4）离子镀：实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合，兼有两者的工艺特点。
（1）真空蒸镀：将需镀膜的基体清洗后放到镀膜室，抽空后将膜料加热到高温，使蒸气达到约13.3Pa而使蒸气分子飞到基体表面，凝结而成薄膜。
（2）阴极溅射镀：将需镀膜的基体放在阴极对面，把惰性气体（如氩）通入已抽空的室内，保持压强约1.33～13.3Pa，然后将阴极接上2000V的直流电源，便激发辉光放电，带正电的氩离子撞击阴极，使其射出原子，溅射出的原子通过惰性气氛沉积到基体上形成膜。
（3）化学气相沉积：通过热分解所选定的金属化合物或有机化合物，获得沉积薄膜的过程。
（4）离子镀：实质上离子镀系真空蒸镀和阴极溅射镀的有机结合，兼有两者的工艺特点。
